等离子体工艺腔室仿真平台研发成功

科技日报大连1月18日电 （记者张蕴）原子级制造是推进新型工业化的核心“根技术”，然而却一直面临技术瓶颈。记者18日从大连理工大学获悉，该校科研团队研发出国内首款具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真平台（MAPS）。该平台可在虚拟世界中复现真实的制造过程，以实现产品的提前研发和性能预判。

大连理工大学集成电路学院党委书记、博士生导师高飞介绍，MAPS可以针对产业界的原子级制造装备进行全方位仿真，包括外控参数、装置几何结构，并将给出最终演化结果，从而节省整个部件研发时间，提高研发效率。团队依托大连理工大学学科优势，展开了多年技术攻关、数万次等离子体实验测试。目前，该技术已应用于拓荆科技、华为等多家企业，较国外同类型产品节约经济成本15%、节约时间成本20%。

大连理工大学国家重点学科等离子体物理学科教授张钰如说：“团队和国内许多头部企业都开展了深入合作，建立了校企联合实验室，这意味着学生在校期间就可以深入企业参与联合技术攻关项目，这一模式将为相关产业培养出更多的高精尖紧缺人才。”

目前，辽宁省将原子级制造纳入未来产业重点方向，依托重点实验室群等载体，组织开展原子级制造技术专题路演推介等活动。辽宁省科学技术厅副厅长许爱东表示：“辽宁省设立了未来产业的科技计划，围绕原子级制造、量子科技、具身智能等方向开展基础研究和前沿攻关，将努力形成一批助力产业发展的‘根技术’加快实现‘换道超车’。”

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