全国五一劳动奖章获得者张卫：学生做得不好，一定是我的原因

正值毕业季，复旦大学微电子学院教授张卫每天都在花时间审阅、修改学生论文。5月1日当天，他早上7点多就到办公室，查找文献、修改论文。他说：“如果学生做得不好，那一定是我的原因。”

在校园值守岗位一月间，张卫的每一天都很平常，从住所到办公室两点一线。大部分时间，他坐在办公桌前，敲着电脑键盘，一坐就是几个小时。作为微电子学院院长，他也担起疫情防控的一方责任。

日前，张卫荣获全国五一劳动奖章。得知荣获奖章时，张卫正在办公室修改学生论文。他说：“荣誉只代表过去，我得继续努力工作，每天都有很多事情要做。”

搭建第一套原子层沉积技术的实验研究平台

1995年6月，张卫博士毕业后到复旦大学做博士后，合作导师是电子工程系的王季陶教授。在这期间，他瞄准本领域的国际学术前沿，开展了先进铜互连技术和低介电常数互连介质等研究，并取得了很好的学术成绩。博士后出站后，张卫留校工作。

2002年5月，他结束德国一年半的洪堡学者之行，回到复旦。在校方支持下，他在国内率先开展了原子层沉积（ALD）高k栅介质的研究。2003年，他搭建了国内第一台原子层沉积实验设备。随后，他组织举办了第一届中国原子层沉积技术学术会议，迅速扩大了复旦大学在集成电路前沿领域的国际影响力。

如今，中国原子层沉积学术会议（CALD）已举办9届。张卫团队在原子层沉积领域的研究也取得了丰硕成果，发表相关学术论文120多篇。

“做科研就是要锲而不舍”

28年，张卫从一个初出茅庐的科研人员，成长为国内集成电路领域的领军人物。这一切的背后，离不开“死磕”。在他看来，“做科研，是我的工作，也是我长久的坚守。”

微电子学院青年教师孙清清，2004年还是一名大四学生，当时他在张卫课题组做毕业设计。每次跟来自美国的工程师一起安装设备时，他发现旁边总有一个人，那就是张卫。

“几天接触下来，我感觉张老师是一个非常严谨的人，能从他身上学到东西。”本科毕业后孙清清跟着张卫攻读研究生。如今，孙清清也已成长为一名学科带头人。

集成电路领域的研究需要产学研深度合作。孙清清回忆，“张老师经常带着我们跟企业去谈，有时候每周都要飞过去。”

“是张老师的坚持打动了对方，最终合作得以成功。”孙清清说，如果中间不坚持，事情肯定就“泡汤”了。

几十年如一日，张卫在科研路上孜孜不倦。近年来，他牵头承担了8项国家和上海市重大、重点科研项目，在本领域国内外学术期刊及会议上发表论文300多篇，申请发明专利180多项。

离开科研、教学，张卫的生活很简单，平常他最喜欢的活动就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。长期以来，他保持良好作息习惯，每天晚上11点之前睡觉，早上6点钟起床，以充沛的精力投入到新的一天。

要做有价值的人生导师

一位复旦大学微电子专业20年前毕业的学生，现在已是企业高管，依然对张老师激情讲授的《半导体材料》课程印象深刻。

在张卫看来，作为一名老师，首要任务是教书育人，为行业培养高质量的人才。

“大学教育对一个学生未来职业规划和选择非常重要。作为老师，我想不仅仅是做科研，更是作为人生导师。不仅传授知识，更要活用我过去几十年的人生阅历，引导他们成长。”

多年来，他培养了一大批集成电路领域的优秀人才，其中5人获得国家高层次人才等称号，40多人担任我国集成电路头部企业高管和核心技术人员，成长为我国集成电路领域的领军人物。

这两年，张卫还为高中生先修课堂上课，讲授“改变世界的芯片技术”。他说，芯片是现代工业的粮食，是我们国家高科技强国建设的重要一环，希望通过先修课堂，让中学生对研究有了解，激发他们对科研世界的思考。

受疫情影响，这段时间微电子学院实验室暂时“停摆”。作为导师，为了缓解学生的科研焦虑，张卫做了一些调整，让科研不间断，包括布置阅读新的文献、总结前期实验经验、讨论进一步完善实验计划……做实做足前期功课，等待条件允许时快速投入、推进实验。